Добавил в конфиг nginx-а ключ proxy_buffering off; и апачу стало труднее, он кол-во процессов стал генерировать больше и съедать память выделенную ему в MaxClient раньше, но зато nginx стал отдавать быстрее - в целом быстрее немного заработал сервер, завтра буду пробовать памяти добавить, включать и увеличивать кеширование и буферизацию.